随着国内半导体及光伏行业的快速发展，对于高纯气体尤其是高纯特种气体的需求量及气体质量要求越来越高。
但特种气体大都具有有毒、易燃易爆、高腐蚀性、高氧化性等性质，如H2Se、SIH4、CL2、NF3等，因此如何安全、稳定、可靠地贮存和输送特种气体越来越受到重视。下面我们来谈谈特气安全运行与管理中需注意的事项。
1.严格按照安全操作规程作业
其实特气系统在投入使用前，安全的设计理念已贯穿其中，并且特气系统的操作和维护都有相应的标准操作规程。比如：特气系统日常操作如换瓶、维护等都要双人作业，通过监督以确保人员每一步操作遵照安全步骤进行。但尽管如此，特气事故还是时常发生。
事故统计表明，人的因素，是导致事故发生的重要因素几乎所有的特气责任事故都是由于操作人员没有严格按照操作规程来作业。
特气运行管理人员必须取得危险化学品管理安全资质、压力容器及压力管道作业资质，另外相关人员还需要经过专业的特气设备操作维护运行及异常处理的专业培训后方可上岗作业。
值得注意的是，很多特气事故往往都是具备一定經验的熟练运行人员造成的。究其原因是运行人员度过了新手对特气的恐惧阶段，并感觉掌握了特气的专业知识，因此在特气作业过程中精神不集中，跳过安全操作规程的某些步骤，最终导致事故发生。
2.注意特气系统状态及仪表数值变化
在特气运行管理中非常重要的一个关键词是“变化”。
通常情况下，特气系统在发生故障之前或者已经发生故障却无报警产生时，从系统状态或仪表数值变化的情况可以发现异常。
运行人员每天需对特气系统进行数次点检和巡检。特气系统状态及仪表的数值是点检及巡检的重要内容，如压力、温度、重量等，还包括所有气体侦测器的检测数值。在标准的点检表中，特气仪表数值都有一个管理值。运行人员在点检过程中察看各个数值是否在管理值范围内，如超出管理值，则必须马上查找原因。
值得注意的是，作为特气运行人员需对特气系统状态变化有足够的敏感度，某些数值变化即使在管理值内，也要分析其变化的合理性。另外，系统状态及仪表数值虽然在管理值范围内但一直无变化，也是一种异常表现，需检查传感器等电子元件是否已经失灵。
3.特气泄漏应急处理
特气运行现场都有针对每种特气泄漏的紧急响应程序。ERT成员也需要定期进行特气泄漏的培训和演练。
通常情况下，出现特气报警后ERT按照紧急响应程序需要按以下几个主要步骤进行动作：
（1）通知负责人或协调者，紧急疏散、人员搜救，同时在确保人员安全的情况下切断气源、开启强制排风。
（2）确认泄漏及特气溢出量，确定报警级别是否下降或维持。
（3）事故评估以及分区。
（4）根据气体决定PPE及ERCV紧急反应安全容器。
（5）进入该区域处理泄漏和特气溢出。
（6）现场清理。
值得注意的是不管是人员搜救或是处理泄漏任何人不得单独行动。在根据调查的泄漏信息进行分区时需注意风向和风速。泄漏区域为热区。根据泄漏特气种类和泄漏量决定暖区。设备和ERT成员在冷区。对于腐蚀性特气泄漏的情况，泄漏区域需要净化。
泄漏事故处理完毕后，还需要调查整个泄漏细节及污染程度，同时分析特气泄漏的根本原因，找出对策及防治措施。
随着半导体集成电路、光伏等行业的国内外市场需求扩大，特气的用量会进一步扩大，对特气的品质要求也会越来越高。所以，特气输送系统安全稳定运行是企业今后发展不能忽视的环节。在特气输送系统进行设计时，要全面考虑安全问题，尽量实现设备自动化，减少人工操作。在特气输送系统构建时，做到严格按照安装要求进行施工管理，特气设备运行后，进行有效的运行管理，特气泄漏风险将能极大地降低。
以上就是为大家简单整理的特气安全运行与管理中需注意的事项，希望能给大家提供参考，感谢您的阅读。
