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高纯电子特气系统——特气系统里的特气设备!

来源:沃飞 更新:2020-08-28 19:46:28 作者: 浏览:2484次

随着现在半导体行业、科研实验室和工业综合厂房的不断发展,高纯电子特气系统得到了广泛的应用。GR特气架、GC特气柜这些特气设备也在这些行业里成为了标配,很容易就能见到。

 

高纯电子特气系统输送的气体,是特气,具有腐蚀、剧毒等性质的危险性气体,那它的特气设备的配置、使用有哪些规范呢?

GC特气柜是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性气体供应而设计的供应系统,按类别分全自动、半自动和手动操作。基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断(当设定报警信号被触发时)。

 

咱们下面以沃飞WOFLY全自动特气柜(GC)为例,全自动特气柜以PLC为控制主体,配合触摸屏进行系统显示和设定,搭配不同的盘面设计,以满足太阳能、半导体行业需求。

 

  • 特气系统设备GC配置规范:

 

  1. GC应配置作业用气体面板。

2. 气柜应有带机械锁的自关闭的柜门,可实现自动关闭功能,并且配备防爆玻璃观察窗,递交螺栓设计应满足当地地震设防烈度的要求。

 

3. 气瓶柜在柜门关闭时,气瓶柜内部是处于负压状态,而且不得低于100Pa,还有柜内的排风换气的频率不能低于300次/H。

 

4. 报警侦测警报功能齐全。

 

5. 气瓶柜的板材需要有防腐蚀涂层,且板材厚底不得低于2.5mm。

 

6. 急停按钮应位于控制面板上。

 

对于有特殊需求的客户,WOFLY特气柜会配备一些其他的安全装备,比如:气柜里安装喷淋头,在气体下游流量过大是报警的过流开关,需要安装温度开关的可燃气体系统等,具体的配置是根据需求发生改变的。

以上,就是特气系统里的特气设备,GC特气柜一些基础配置规范啦。感谢您的阅读!

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