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高纯气体管道配管技术及常见气体种类介绍

来源: 更新:2021-02-08 20:27:01 作者: 浏览:220次

什么是高纯气体管道配管技术?所谓的高纯气体配管技术,是包括高纯供气系统的正确设计、阀门管件及附件的合理选择、管道施工、安装试验和测试等;是高纯气体供应系统的重要组成部分;是保证高纯气体安全稳定的输送到用气点,且符合设备使用要求的关键技术。

 

高纯气体管道工程应用领域

高纯气体管道系统工程有着能保证气体的纯度、保证标准气体流量、压力稳定和量值传递不发生变化等特点,广泛应用于半导体、集成电路、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医药、各种实验室、科研研究所、标准测试等高科技行业。

常见气体种类:

在电子工业中普通气体,也称大宗气体(Bulkgas):氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氮气(A2)等;除普通气体外,电子工业还会用到大量的高纯特种气体(Specialty gas ),如:SiIH4、PH3、B2H6、CL、HCL、CF4、POCL3、BCL3、SIF4、CLF3、C2F6、N2O等等。这些特殊气体根据气体性质,类别通常可分为腐蚀性、毒性、易燃性、助燃性、惰性等。

常用半导体气体分类如下:

  1. 腐蚀性/毒性: HI、BF3、WF6、HBr、SiH2C2、NH3、PH3、C12、BCI3等

  2. 可燃性: CH4、SiH4、PH3、AsH3、SIH2CI2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等
  3. 助燃性: O2、C12、N2O、W3等
  4. 惰性: CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等

半导体行业中使用的电子特种气体,很多都是对人体有害。比如,半导体制程工艺最常见的特种气体:硅烷(SiH4)就具有自燃特性,一旦发生泄漏,它们就会与空气中的氧气剧烈反应并开始燃烧。再比如磷烷(PH3)和坤烷(AsH3)也具有剧毒性,任何轻微的泄漏都可能对人们的生命造成伤害。正是由于这些明显的危险,所以对于高纯气体供应系统设计的安全性要求特别高。

以上,便是关于高纯气体配管技术及电子工业中常见的气体种类的简单介绍,感谢您的阅读!

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