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电子特气迎来中国“芯”势力!一文带你了解全球电子气体主要生产企业

来源: 更新:2021-06-23 19:34:23 作者: 浏览:707次

近年来,随着电子工业的快速发展,电子气体在半导体行业中的地位日益凸显。电子气体作为芯片制造的核心原材料,是市场价值除硅晶圆之外的最大材料,其重要性不言而喻。今天小编整理了电子气体市场情况和国内外主要公司,希望对您有所帮助。

 

一、市场格局
 

 

国外气体企业在国际气体市场中占有寡头地位。

电子特气行业具有较高的进入壁垒,空气化工、林德集团、液化空气和大阳日酸等四大公司控制着全球90%以上的市场份额,呈现寡头垄断的格局。在国内市场,海外四大气体巨头控制了我国电子特气市场88%的份额,国内气体公司市场份额合计仅占12%,国内企业占比较低。电子气体长期处于“卡脖子”状态。 

 

二、国内外部分电子气体公司
 

 

2.1
欧美公司
 

 

◆美国空气化工产品

空气化工产品(APD)在1940年成立于美国宾州,是全球第三大气体供应商。销售和服务空分气体、特种气体、气体设备等。 

APD公司是世界大宗工业气体巨头,也是电子特种气体行业的先驱。APD公司主要生产大宗工业气体和稀有气体。大宗工业气体包含氧气,氮气和氩气等气体,也包含氢气、氦气、二氧化碳、一氧化碳和合成气等工业气体。2020年度营业收入为891.9亿美元,净利润为17.6亿美元。

◆林德集团

林德集团1879年成立于英国,2018年与气体行业巨头普莱克斯合并,成为全球最大的工业气体供应商。林德集团气体业务遍布全球,也是最早进入中国的、布局最多的气体行业外资巨头。

2020年全年公司销售额为272亿美元,营业利润为58亿美元,同比上涨10%林德集团成立联华林德,主攻中国市场。联华林德自1984年以来,一直引领着中国大陆和中国台湾的气体供应,并获得了中国大陆和中国台湾的大宗气体市场份额第一、电子特种气体市场份额第五的成绩。

针对半导体,联华林德能提供涵盖所有制造工艺的电子特种气体广泛的产品组合和大宗气体解决方案;面向平板显示领域,联华林德则有强大的N2O供应能力,还有专利的合成和纯化技术;在太阳能领域,则有硅烷(SiH4)和氨气(NH3)的全球供应网络;除了台积电,中芯国际、长江存储、长鑫科技以外,Intel大连、Samsung苏州、京东方、华星光电都是林德集团服务过的客户。 

◆法国液空集团

法国液空集团1902年成立于法国巴黎,在林德集团与普莱克斯合并前是全球市值最大的气体供应商。液化空气集团气体业务遍布全球,主要为冶金、化工、能源等行业客户供应氧气、氮气、氩气、氢气、一氧化氮等产品,也为汽车、制造业、食品、医药、科技等行业客户提供工业气体、制气设备、安全装臵等。

法国液空集团2020全年销售额204.85亿欧元(约244亿美元。其中,气体与服务销售额196.65亿欧元。

 

2.2
日本公司
 

 

日本的特气供给在行业内处于领先地位。当前在日本国内,半导体方面的高纯度气体市场规模约为40亿元左右,在全球市场规模更大,约335亿元。其“主战场”为韩国、中国台湾、中国大陆等东南亚地区。另一方面,供应高纯度气体的厂家依旧是日本企业占大多数。如昭和电工、太阳日酸、关东电化工业、ADEKA(艾迪科)、日本中央销子、住友精华、大金工业等都生产和销售各种电子材料方面的气体。 

◆昭和电工

日本昭和电工成立于1939年,是全球知名的综合性集团企业,生产的产品涉及多种领域,设有化学品事业部,专门从事产业气体、电子材料用高纯度气体的研发、生产。

昭和电工株式会社在上海的生产基地-上海昭和电子化学材料有限公司的旁边取得第二工厂建设用地,建设高纯度N2O(一氧化二氮)和高纯度C4F8(八氟环丁烷)的生产设施,以及高压气体危险品仓库。第二工厂拟于2021年下半年投产。高纯度N2O主要是半导体及显示屏制造时的氧化膜的氧来源的特种气体,高纯度C4F8主要是这种氧化膜的微细加工(蚀刻)时的特种气体。 

◆太阳日酸

TaiyoNipponSanso(太阳日酸)大阳日酸株式会社创立于1910年,是日本最大工业气体制造商,至今发展已经有近110年历史,同时公司为领先的半导体气体供应商,广泛应用于IC(集成电路)和存储器(半导体存储设备)、液晶、太阳能电池、LED和超精细机械结构。太阳日酸的电子特气产品覆盖了半导体制程中从沉积,清洗,蚀刻再到离子注入等不同环节,还兼顾了用于保护的惰性气体品类。除了直接提供气体产品,太阳日酸还为客户提供一系列气体设备,供客户现场制备气体和储存气体而使用。 

◆关东电化

日本关东电化工业公司历史悠久,技术积累深厚。它成立于1938年,在电解领域,主要是在氢氟酸电解制备高纯氟气,和氟相关的技术方面有深厚的知识和技巧的积累。主要应用领域包括电池化学、医药化学和农业化学等。日本关东电化工业在半导体领域主要以氟化物气体为主。从生产环节上来说覆盖了半导体清洗,蚀刻和沉积环节。 

◆艾迪科

艾迪科(ADEKA)是在历史悠久的食品和化工综合供应商。。

ADEKA在半导体电子特气方面以三种刻蚀气体为主。它们分别是高纯氯气、高纯溴化氢和高纯三氯化硼。这三种气体在半导体材料的刻蚀流程上均有重要应用。 

 

2.3
国内公司
 

 

我们通过对国内电子特气公司进行梳理,国内特气公司实现国产替代呈现四个层级

1.通过产能优势快速切入半导体刻蚀气体,部分含氟气体已经实现国产替代,如三氟化氮、六氟化硫,代表企业有中船重工(718所)、昊华科技(昊华气体)、雅克科技(科美特)、南大光电(飞源气体)。

2.通过技术升级切入半导体化学沉积,部分国产替代初显成效,如六氟化钨、四氟化碳,代表企业有中船重工(718所)、昊华科技(昊华气体)、雅克科技(科美特)。

3.通过某种特气进入核心供应商,切入多种半导体气体,代表企业有华特气体、南大光电。

4.从空分气体或者大化工进入半导体领域,具备技术及产能储备,代表企业有巨化股份(中巨芯)、三孚股份、金宏气体、凯美特气、和远气体。 

◆中船重工(718所)

主要涉及气体:刻蚀气体,钨沉积气体

七一八研究所隶属于世界500强中国船舶集团有限公司,创立于1966年,总部位于河北省邯郸市,已形成电子特气材料、精细化工、空气净化、氢能产业、核电装备、节能环保、安防信息工程及特种装备等8大产业方向。 

目前,中船重工第七一八研究所(派瑞特种气体有限公司)生产的三氟化氮、六氟化钨及三氟甲磺酸系列产品在国内占有率第一,同时销往国外二十多个国家和地区。 

◆昊华科技

主要涉及气体:刻蚀气体,钨沉积气体

昊华化工科技集团股份有限公司(昊华科技)及其下属研究所历史悠久,积累深厚。 

昊华科技旗下黎明院和光明院是承担着主要电子特气业务的子公司。其中光明院以氢化物气体为主,比如硫化氢硒化氢;而黎明院以氟化气体为主,比如三氟化氮,四氟化碳,六氟化硫和六氟化钨。 

公司子公司黎明院是最早从事六氟化硫研发的企业,亦是国内仅有的高纯度六氟化硫研制企业。黎明院含氟气体达到国内领先水平,主攻六氟化硫、三氟化氮。

 光明院主要产品为各类特种气体、工业气体,并提供成套工艺设计、设备加工、技术转让及气体检测等服务。 

◆华特气体

主要涉及气体:光刻气、刻蚀气体、掺杂气体等

广东华特气体股份有限公司创建于1999年,主营业务以特种气体的研发、生产及销售为核心,以普通工业气体和相关气体设备与工程业务为辅。公司的特种气体产品至今已有约230余种,率先实现了包括高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、光刻气、高纯二氧化碳等近20种产品的进口替代,是中国特种气体国产化的先行者。

 ◆雅克科技

主要涉及气体:刻蚀气体

雅克科技股份有限公司为深交所上市公司。2017年10月份,公司收购成都科美特特种气体有限公司90%股权、江苏先科半导体新材料有限公司84.825%股权。在电子特气方面,雅克科技的“电子”事业部目前生产和销售四氟化碳和六氟化硫,这两种材料可以用于半导体的蚀刻和半导体制造设备的清洗。雅克科技除了目前在售的三氟化碳和六氟化硫以外,还在规划新增三氟化氮和高纯氢气的产能。

科美特产品已进入半导体特种气体供应链。科美特现已具备年产六氟化硫8500吨和年产1200吨电子级四氟化碳的生产能力,年产3500吨半导体用电子级三氟化氮项目正在建设中,对高纯含氟特气的制备、提纯与充装等关键技术具备的独到理解,科美特通过积极研发开拓高附加值的IC电子特气产品,半导体级四氟化碳已实现量产销售,六氟化硫达到电子级标准。 

◆南大光电

主要涉及气体:离子注入气体,刻蚀气体,钨沉积气体

江苏南大光电材料股份有限公司是一家专业从事高纯电子材料研发、生产和销售的高新技术企业。南大光电立足LED气体,冲击集成电路特气,南大光电的电子气体在LED领域占有主导地位。南大光电的主要产品MO源在国内外LED市场处于领先地位,是欧司朗、飞利普、科瑞等跨国公司的重要供应商。

◆金宏气体

主要涉及气体:刻蚀气体,沉积气体

苏州金宏气体股份有限公司成立于1999年,一家专业从事气体研发、生产、销售和服务的环保集约型综合气体供应商。已初步建立品类完备、布局合理、配送可靠的气体供应和服务网络,能够为电子半导体、医疗健康、节能环保、新材料、新能源、高端装备制造等行业客户提供特种气体、大宗气体和天然气三大类100多个气体品种。

◆巨化股份

主要涉及气体:刻蚀气体,沉积气体

巨化股份是由基础化工产业企业逐步转型的中国氟化工行业领先的企业。巨化股份成立于1998年,经过20多年的发展,巨化股份已经形成了包括基础配套原料、氟制冷剂、有机氟单体、含氟聚合物、含氟专用化学品等在内的完整的氟化工产业链,并涉足石油化工产业。

前期大手笔投入电子特气,博瑞电子为实施主体,设立了子公司博瑞电子,专注于电子特气的生产和销售,并连续数年巨额投资建设电子特气技术和产能。

◆凯美特气

主要涉及气体:稀有气体

凯美特气是中国国内化工尾气分离行业的龙头。凯美特气进军电子气体业务,建25套电子特种气体项目生产装臵,采用低温吸附、深冷精馏分离、电解、催化合成技术。该项目产品为“高端、精细、专业”的电子特种气体混配气体及同位素,属于电子化学品和核能范围内的同位素,应用领域广泛,主要用于生产环节隔离去氧化、做保护气、半导体清洁气体等。

◆三孚股份

主要涉及气体:外延沉积气体

三孚股份是一家资源综合利用,产业循环发展的高科技化工企业。2017年6月沪市上市。三孚主要产品包括三氯氢硅、四氯化硅、光纤四氯化硅、氢氧化钾、硫酸钾、特种气体等。

和远气体

主要涉及气体:空分大宗气体和高纯氢气、氧气

致力于各类气体产品的研发、生产、销售、服务以及工业尾气回收循环利用,公司经营的主要气体可大致分为三类:普通气体、特种气体以及清洁能源。主要满足化工、食品能源、照明、家电、钢铁、机械、农业等基础行业和光伏、通信、电子、医疗等新兴产业对气体和清洁能源的需求。

我国国内某些电子气体发展很快,已经打入了下游客户的供应链。比如:

华特气体的高纯氟代烷烃已经进入了英特尔、美光科技、德州仪器、海力士等国际客户和中芯国际、华虹宏力、长江存储、武汉新芯、华润微电子、台积电(中国)、和舰科技、士兰微电子、柔宇科技、京东方等客户的供应链,其光刻气产品于2017年通过全球最大的光刻机供应商ASML公司的产品认证,是我国唯一,世界仅有的四家气体公司之一;

金宏气体是国内率先打破高纯氨技术垄断的公司,已经得到了联芯、华润微、京东方、三星电子等的认证,在国内的市场占有率超过50%;

昊华科技的六氟化硫和三氟化氮、南大光电的磷烷和砷烷、北方特气的乙硼烷、硅烷科技的硅烷、派瑞特气的三氟化氮和六氟化钨等等,都通过自主研发打破了国外的技术垄断,并已经在一定程度上得到了客户的认可。

外国气体公司在华的垄断局面已经松动,电子特气市场将迎来越来越多的中国“芯”势力。

 

 

 

来源:化工平头哥

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