解密电子特气的作用_行业新闻

什么是电子特气？

电子特种气体是电子气体的一个重要分支，是集成电路、显示面板等电子工业生产中不可或缺的原材料。电子特气种类众多，广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等环节，被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等材料的“粮食”和“源”，决定了器件的最终良率和可靠性。电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、保护气氛等等。由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展，对电子特气的纯度提出了越来越高的要求，电子特气的的净化愈加关键和重要。

电子特气上游多为III(硼、铝、镓)、IV(碳、硅、锗)、V(氮、磷、砷)族元素及卤族元素(氟、氯)的基础化工产业，下游在集成电路、面板、LED等领域的各个工艺环节均有多种用途。电子特气是集成电路、显示面板等电子工业生产不可或缺的原材料，2021年，电子特气在集成电路中的应用占比达43%，其次为显示面板，占比21%，LED和光伏分别占比13%，6%，主要应用环节包括离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等。

常见的电子特气有哪些？

高纯度的C4F6、 SiHCl3、HF、HCl、HBr、F2、SiH4、PH3、AsH3、B2H6、C4F8、N2O、NH3、SF6、NF3、COS、CF4、BCl3、BF3、Cl2、Si2H6等.

为了保证半导体器件的质量与成品率，特种气体产品要同时满足“超纯”和“超净”的要求，“超纯”要求气体纯度达到 4.5N、5N 甚至 6N、7N，作为特种气体的核心参数，纯度每提升一个N，粒子、金属杂质含量浓度每降低一个数量级，都将带来工艺复杂度和难度的显著提升。（N 是 Nine 的简写，几个 N 就代表有几个 9，例如 3N 的纯度为99.9%），“超净”即要求严格控制粒子与金属杂质的含量。目前国内企业普遍做到5-6N，而林德和法液空等海外领先企业技术可达6-9N。

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市场如何？

2016年中国的特种气体市场规模为156亿元，至2020年达到282亿元，2016-2020年期间中国特种气体市场平均增速达15%以上，增速明显。有机构预测2020年之后仍将保持以15%以上高速增长趋势，2025年中国特气市场有望达到691亿元的规模。同时，国内电子特气行业技术研发稳步推进，有望实现进口替代。2020年全球电子气体市场规模58.5亿美元，预计在2025年将超过80亿美元，年复合增速达到6.5%。国产电子特气市场未来将有较大增长空间。