供应磷烷混合气 PH3气体

保定北方特种气体有限公司，可以配比不同浓度，不同钢瓶容积的磷烷、砷烷、硅烷、硼烷等电子特气。原厂品质，请放心购买。 1%PH3+H2 1+/-0.03% PH3: 6N H2O≤0.1，CO2≤0.1，N2≤0.1，O2+Ar≤0.2，AsH3≤0.1,，THC≤0.1 48.8L CGA350 100KGf/cm2 H2:O2+Ar≤0.1,N2≤0.1,CO≤0.1,CO2≤0.1,THC≤0.1,H2O≤0.1 440L DISS632 作用 在电子气家族中，硅烷、磷烷、硼烷、砷烷应用量较大，是IC制造极为重要的原料。其中的磷烷是半导体器件制造中的重要 N型掺杂源，同时磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延 Ga P材料、离子注人工艺、MO C V D工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。PH3 ，易燃、易爆、剧毒，其毒性 数为：PEL/TLV 0.3×10， STEL1×10，LC5020×1O，ZDLH200×10，属剧毒危害品。