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特种气体的应用

来源:盖斯帕克气体技术 更新:2020-01-08 19:51:39 作者: 浏览:83次

电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。

电子行业常用的特气超过三十余种,按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。

 

特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。

 

在集成电路制造应用方面具体包括集成电路芯片制程、化学气相沉积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用;

 

在太阳能电池应用方面具体包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池生产工艺和气体应用、薄膜太阳能电池生产工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面具体包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED生产工艺和气体应用;在液晶显示器应用方面具体包括TFT/LCD的应用、TFT/LCD生产工艺和气体应用;在光纤应用方面具体包括光纤应用和光纤预制棒的生产工艺和气体应用。

 

二、一般混合气体

 

由两种以上气体混合配制而成的气体,而且主要标出大致浓度,即可满足使用要求,这种气体称为一般混合气体。

 

对气体分析仪用气体,如含氢10%,其余是氦的混合气以及含甲烷5%或10%,其余是氩的混合气,被用作气相色谱仪的载气;含氢40%,其余是氮或氦的混合气被用作氢火焰总烃检测仪的燃料气。另外,含氧20%~60%,其余是氩的混合气被用来发生化学荧光分析仪用的臭氧。

 

在测定放射性物质时,使用的混合气有下列几种组成:含异丁烷0.95%,或含丁烷1.3%,或含丙烷1.5%,或含甲烷5%~10%,均以氦为底气。

 

各种混合气也常被用作照明灯具的充填气和数字显示管等的充填气,这类气体大多是用下列两种以上气体混合而成的:氩、氖、氦、氪、氮。卤光源生产则用溴甲烷、氯甲烷、溴化氢、碘甲烷、氯仿等气体与氩的混合气。

 

深海呼吸用含氧20%~60%,其余是氮或氦的混合气。激光用气含CO24%~16%,N210%~25%,其余是氦。

 

金属热处理保护气可用含氢0.5%~10%,其余为氩的混合气或二氧化碳10%~40%、20%~60%,其余为氮氩的混合气。

 

光化学反应、动植物实验室和金属腐蚀等研究用的混合气因关系到公害问题,所以其中二氧化氮、二氧化硫和硫化氢等都要保持低浓度。

 

三、标准气体

 

所谓标准气体就是用来校正测量仪器、评价测定方法、给出未知样品气标准值的气体。它分为调整零位用标准气体(零位气体)、监测环境用标准气、工业分析用标准气体、医疗仪器用标准气体、可燃性气体泄漏用标准气体、燃烧器尾气用标准气体六大类。

 

由于使用了标准气,所以即使在不同场所测定,也具有相同测定值。

标准气体应用范围很广,在化工、石油冶金、机械、航天、电子、军工玻璃、陶瓷、医药医疗、汽车、光纤、激光、潜水、环保、切割、焊接、食品加工等工业部门均使用大量的常用气体和特种气体。其中在石油化工领域对标准气体的需求量相对较大。

 

当前气体行业竞争激烈,由于特种气体行业要求气体品种多、质量高,而气体产品属于高技术、高附加值产品,所以竞争与空分行业相比相对较少,但多数单位的人员素质高、技术实力强。

 

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