半导体产业是国民经济的重要组成部分，高纯电子特气是半导体产业发展所需的核心原料之一，在半导体材料需求中占比排名第二，达到15%左右。高纯砷烷（AsH3）就是其中一种常用的高纯电子特气，在半导体集成电路中，通过电子特气系统，安全稳定的参与外延、扩散、离子注入等工艺。
砷烷（AsH3）又称砷化氢，是一种剧毒的易燃无色气体，具有大蒜臭味，热稳定性较差，受热时易分解为氯气和元素砷。
砷烷是一种强烈溶血毒物，红细胞溶解后的产物可堵塞肾小管，引起急性肾功能衰竭，长期在低浓度砷化氢环境中作业主要表现为头痛、乏力、恶心、呕吐，较重者可有多发性神经炎，是一种危险性电子特气，在运输、存储和使用等过程中都要注意安全。
砷烷（AsH3）是电子工业的重要基础材料之一，是一种重要的电子特气，在半导体工业中主要用于外延硅的N型掺杂、硅中的N型扩散、离子注入、生长砷化镓(GaAs) 和磷砷化镓(GaAsP)，以及与ⅢA/ⅤA族元素形成半导体化合物等。
砷烷电子特气系统的应用：
砷烷电子特气系统是通过砷烷特气柜等SEMI 2认证的特种设备、高洁净度耐腐蚀的EP级316L气体管道及气体泄漏监测报警系统等，来保证剧毒易燃的砷烷气体纯度和气体的安全储存、输送及使用。
综上，砷烷(AsH3)是一种重要且危险的电子特气，通过砷烷电子特气系统保证气体安全稳定使用，广泛用于半导体、集成电路、光电子、太阳能电池和微波装置等行业。感谢您的阅读！
