什么是含氟气体?常见的含氟特气有哪些?一文带你了解
来源: 更新:2024-08-14 20:32:15 作者: 浏览:305次
电子特种气体(简称“电子特气”)是特种气体的重要分支,它几乎渗透到半导体生产的每个环节,是超大规模集成电路、平面显示器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。
在半导体工艺中,含氟气体的使用非常广泛,目前全球电子气体市场中,含氟系列电子气体约占其总量的30%左右,含氟电子气体是电子信息材料领域特种电子气体的重要组成部分,主要用作清洗剂、蚀刻剂,也可用于掺杂剂、成膜材料等。本篇文章笔者就带大家了解下常见的含氟气体。
(1)三氟化氮(NF3):用于清洗和去除沉积物的气体,通常用于清洗反应室和设备表面。
(2)六氟化硫(SF6):用于氧化物沉积过程中的氟化剂,以及作为绝缘气体用于绝缘介质的填充。
(3)氟化氢(HF):用于去除硅表面的氧化物,以及作为蚀刻剂用于刻蚀硅和其他材料。
(4)氟化氮(NF):用于刻蚀氮化硅(SiN)和氮化铝(AlN)等材料。
(5)三氟甲烷(CHF3)和四氟甲烷(CF4):用于刻蚀氟化物材料,如氟化硅和氟化铝等。
但含氟气体具有一定的危险性,包括毒性、腐蚀性、燃烧性等。
一些含氟气体具有毒性,例如氟化氢(HF),其蒸气对皮肤和呼吸道有强烈的刺激作用,对人体健康有害。
氟化氢和一些氟化物具有强烈的腐蚀性,可以对皮肤、眼睛和呼吸道造成严重伤害。
一些氟化物是易燃的,与空气中的氧气或水反应会释放出剧烈的热量和有毒气体,可能引发火灾或爆炸。
一些氟化气体在高压下具有爆炸危险,需要在使用和储存时特别小心。
含氟气体大气寿命和GWP值较高,对大气臭氧层具有破坏作用,可能导致全球变暖和环境污染。
电子等新兴领域的气体应用不断深化,为工业气体带来了大量新增需求。基于未来几年中国大陆地区半导体、显示面板等主要电子元器件的新增产能较多,以及电子化工材料的进口替代需求强烈,国内电子气体行业将迎来较高增长。